微透镜阵列裸眼3D显示的制备与三维形貌检测
微透镜阵列（MLA）是实现裸眼3D显示的重要微光学结构，几何尺寸、表面形貌和排列精度直接影响光线调控与成像。包装防伪、光学成像和显示器件制造都得兼顾精度与效率。论文表明传统精密模具微纳压印的生产周期约22天， ...
三维表面粗糙度怎么测？常见非接触式光学方法对比
封装、光学和微纳加工都要控表面粗糙度。软质材料和微小结构上，触针伸不进去，接触力还会压出痕迹。非接触式三维表面粗糙度测量不与工件接触，靠反射光、干涉或焦点变化取高度，区域扫描一次得到成片数据，比逐点快 ...
半导体薄膜界面失效：纳米铜膜三维形貌与结合性能研究
纳米铜薄膜是半导体互连与金属化的常用材料，单层只有几十到几百纳米。110 nm 的铜膜在沉积或热处理变化时就会局部屈曲，界面结合随之退化。二维图像只能定位缺陷，给不出高度分布；目标转向分析缺陷后，共聚焦的非接 ...
如何通过三维形貌检测识别VCSEL失效风险
高功率 808 nm VCSEL 阵列做完衬底转移和封装后，表面经常出现不规律凸起。这些凸起肉眼难辨，却直接拉低器件寿命。在相关的研究论文中，对 5 mm×5 mm、808 nm 的衬底转移阵列做了长脉冲老化与失效分析。三类被记录的异常—— ...
光子线键合三维形貌表征：CLSM与SEM实测对比验证
光子线键合（PWB）是光子集成电路（PIC）里最常见的芯片间连接。聚合物波导把两片芯片的光路接起来，长度、截面和弯曲形态都按设计定死，哪一处偏离，耦合效率都要下降。电镜一直是看形貌的主力。分辨率够高，代价是样 ...
GaN激光芯片腔面形貌与COD失效分析：EMMI、CL与共聚焦联合定位
大功率GaN基蓝光激光器加速老化后，输出功率先短暂上升，再快速跌到接近零，光谱展宽、中心波长红移。这些参数提示内部变了，却答不出腔面出现了哪种损伤。半导体芯片表面形貌检测就成了绕不开的一步。GaN基蓝光激光器 ...
共聚焦显微镜与白光干涉仪的陡坡测量技术对比
在微光学元件、微纳结构或复杂曲面检测中，有个问题很实际：设备完成了扫描，不等于每个表面位置都拿到了有效数据。双光子光刻微结构形貌测量尤其如此，陡坡区域噪声升高、点云缺失，同一位置反复扫描的结果甚至对不 ...
微纳表面形貌测量中的激光扫描共聚焦显微镜：原理、优势与技术对比
先进制造对零件表面的要求，已从“看起来光滑”变成“三维数据可量化、可追溯”。表面形貌测量直接决定半导体器件电学性能与成像质量，微纳尺度表面的高精度表面表征因此成为光学计量学的核心任务。研究说明激光扫描 ...
精密制造产线上，亚微米级误差决定良率。光刻对位、机床台控制，都绕不开线性位移测量。接触式探针易划伤软质面；光学测量技术不接触工件，一次拿到全场数据，接得住精密制造检测的节拍，这正是非接触测量的价值。
精密制造产线上，亚微米级误差决定良率。光刻对位、机床台控制，都绕不开线性位移测量。接触式探针易划伤软质面；光学测量技术不接触工件，一次拿到全场数据，接得住精密制造检测的节拍，这正是非接触测量的价值。PCA ...
共聚焦显微镜表面形貌测量：误差与精度
在半导体晶圆缺陷检测和锂电极片表征中，共聚焦显微镜是非接触式三维表面测量的首选工具。边缘容易过度冲高，陡坡区域幅度明显偏低。这类共聚焦测量误差源于光的波动特性。矩形边缘附近，上下平台的反射波同时进入同 ...
铜表面微纳多孔结构的形貌表征方法
结构成形以后，实验没有结束。铜表面微纳结构经过激光加工，二维图像辨不出孔深和表面形貌，得换三维口径。同一块铜样品就是另一种表面。二维图看得清孔的位置，给不出结构高度和深度，更给不出3D形貌。参数记得细， ...
共聚焦显微镜针孔与NA优化：提高表面粗糙度与三维轮廓测量精度
微纳结构尺寸往下压，三维表面形貌测量的分辨率和景深成了硬瓶颈。焦外杂光一混进来，三维信息就糊掉。晶圆、锂电极片、精密光学件上，工业显微镜常常只有一张模糊图，微纳结构测量拿不到真实形貌。共聚焦显微镜三维 ...
普通LFP vs 激光孔道：共聚焦显微镜量化异质性差异
锂离子电池要兼顾高能量密度和快充，极片设计被拉向两边。做厚省下集流体和隔膜面积，代价是Li⁺路径拉长；倍率一提，传质限制主导反应，SoC就不一致了。用锂电极片共聚焦显微镜比较普通LFP电极与激光结构化电极：1 C时 ...
CLSM三维形貌测量：SOI波导侧壁粗糙度与光损耗分析
在硅光子学里，光路压缩到微米甚至纳米尺度后，侧壁粗糙度就成了光子器件绕不开的光学散射损耗来源。高折射率差的SOI波导把光场束缚在硅芯层，侧壁十几纳米的起伏，就在导模与辐射模间打开相位匹配窗口，把能量耦合出 ...
微纳三维检测与光学测量：四种显微三维测量方法对比
微纳三维检测和光学测量要求持续抬高，非接触测量成主流光学检测方法。四种光学检测方法：激光共聚焦测量、白光干涉、数字全息、结构光照明都做三维形貌测量与表面形貌测量，同属光学三维测量。激光共聚焦测量靠光强 ...
名字 *
公司
职称
电子邮件 *
电话号码 *
城市 *
国家
请选择产品
我有兴趣接受有关以下内容的信息 *
我的留言
