主要特点
超景深显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚微米级测量的检测仪器。它采用了高数值的物镜和光阑，通过调节光源的光斑大小和光阑的位置，使光线在不同深度处的聚焦度不同，从而实现超景深效果同时结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
高分辨率数字成像器件
▷ 成像传感器：SONY CMOS高端传感器；
▷ 超宽动态范围：多种HDR技术的结合运用，使得亮区和暗区都可得到真实细腻的呈现；
▷ 超清细节呈现：高灰阶，更大的颜色深度，更极致的图像细节与颜色表现。
三维图像软件处理系统
▷ 快速3D实时图像景深合成；
▷ 具备测试高度、宽度等功能，可记录多点XYZ坐标，快速移动到记录坐标点进行观测；
▷ 具有三维图像动态显示、三维图像各种呈现方式以及三维图像空间各种测量数据和截面曲线图。
多功能载物台及高精密运动轴
▷ 采用交叉X/Y滑轨设计，行程200mm×200mm；
▷ 平台尺寸230mm×230mm；
▷ 高精密电动Z轴装置，可实现精度高达0.1um的移动分辨率。
先进的光学设计与精密的光机系统
▷ 远心光学系统设计，采用低色散光学玻璃，保证真彩与锐利、低畸变、图像更清晰；
▷ 变倍主体采用电动结合手动两种模式，一键切换，满足不同场合的应用需求；
▷ 镜体变倍比为1：6.5，且有更丰富配置可选择；
▷ 100倍－2500倍的无缝转换让繁杂多样的观察任务变得简单。
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