主要特点
3D共聚焦显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
高精度多维测量
▷ 3D形貌测量：可全面表征微观表面三维形貌特征，实现亚微米级轮廓尺寸测量与表面粗糙度分析；
▷ 影像测量功能：基于高分辨率影像测量技术，可快速获取样品二维平面轮廓数据，智能识别并精确测量长度、角度、半径等几何参数。
数据处理与分析
▷ 数据处理功能：具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
▷ 分析工具功能：具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
广泛的应用领域
可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
高精度、高重复性
采用针孔共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高。
▷ 测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
▷ 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
▷ 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
▷ 一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
▷ 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
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