CLSM三维形貌测量:SOI波导侧壁粗糙度与光损耗分析
在硅光子学里,光路压缩到微米甚至纳米尺度后,侧壁粗糙度就成了光子器件绕不开的光学散射损耗来源。高折射率差的SOI波导把光场束缚在硅芯层,侧壁十几纳米的起伏,就在导模与辐射模间打开相位匹配窗口,把能量耦合出 ...
微纳三维检测与光学测量:四种显微三维测量方法对比
微纳三维检测和光学测量要求持续抬高,非接触测量成主流光学检测方法。四种光学检测方法:激光共聚焦测量、白光干涉、数字全息、结构光照明都做三维形貌测量与表面形貌测量,同属光学三维测量。激光共聚焦测量靠光强 ...
增材制造表面粗糙度测量:3D共聚焦多尺度方法
DED和PBF成型表面跟切削纹理两样。熔道、未熔颗粒、飞溅物和孔洞混在一起,尺度跨度宽,单看一档说不清。这正是增材制造表面测量要啃的硬骨头,也是增材制造表面粗糙度测量绕不开的前提。非接触式表面测量因此成了首选 ...
共聚焦显微镜如何实现表面形貌测量
产线上真正棘手的,常常是缺陷看得见、尺寸量不准。要问微纳结构的台阶高度、凹槽深度、轮廓测量怎么做,二维图像就答不上来。接触式探针能给数值,软质表面却怕划伤。非接触式测量更合适,3D共聚焦显微镜用得最多。 ...
3D共聚焦显微镜与探针式粗糙度仪:谁更适合亚表面损伤检测?
光学玻璃难测的不是表面形貌,而是再沉积层下亚表面裂纹。普通显微镜看不见亚表面损伤,激光扫描共聚焦显微镜查微裂纹有优势却拉低激光损伤阈值。表面粗糙度测量易,亚表面损伤检测却难:探针式粗糙度仪、触针式粗糙 ...
InGaAs微透镜3D形貌怎么测?共聚焦显微镜在光通信的应用实践
光通信InGaAs系统里,单光子探测器负责捕捉极弱光信号。芯片光敏区往往只有十几微米,多数光子落在无效区,光能利用率偏低。方形孔径微透镜阵列把光线重新汇聚到光敏面,材料选磷化镓或硅以匹配1.064 μm波长;占空比(有 ...
BGA虚焊失效分析:激光共聚焦定位基板翘曲根因
某通信板产线停机,投料1300块约650块无法开机,失效率近50%。拆解确认故障在CPU与PCB间BGA焊点信号开路。起初疑OSP:换锡膏、调回流曲线,比例不变。查清这次BGA焊接失效源头的,是激光共聚焦显微镜测出约100μm高度差。该板 ...
超景深光学显微镜解决方案:提升SEM定位与微纳分析效率
在材料科学、半导体和生命科学领域,场发射扫描电子显微镜(SEM)凭借纳米级分辨率,一直是微观表征的主力设备。但它有个绕不开的尴尬:图像是黑白的,缺少颜色信息,有效搜寻视野通常只有约 980 μm,遇到厘米级大样品 ...
从粗糙度到三维形貌:激光共聚焦显微镜实现微米级表面分析
传统光学显微测量看磨损痕迹方便,但景深受限。触针式轮廓仪探针半径2~5 μm,碰到软质材料易留划痕,不适合磨损表面检测。磨损表面检测需获取凹坑深度、磨痕宽度等关键信息,粗糙度参数分析是核心环节,仅靠二维观察 ...
光模块微米级尺寸检测:影像测量仪如何保障光模块制造质量
光模块检测正从400G向800G光模块、1.6T光模块演进,几微米偏差可能导致信号衰减。高速光模块制造中,尺寸能否控住决定可靠性。微米级测量和精密测量成为光模块检测关键环节。高速光模块结构精度要求苛刻。800G光模块上量 ...
共聚焦显微镜在硅光波导耦合结构微观形貌检测中的应用
硅光波导侧壁粗糙度一旦爬到几个纳米,散射损耗就会明显抬升,传输效率跟着往下掉。百纳米量级的结构对表面起伏特别敏感,传统二维投影很难把侧壁和底部同时摸清楚。边界图像跟踪法配合激光共聚焦显微镜三维形貌检测 ...
超景深显微镜在微纳超疏水表面三维形貌与防冰性能中的表征研究
飞机高空翼面积冰改变气动外形,引发升力下降。传统电热除冰能耗大,需要低能耗方案。超疏水表面接触角大于150°时液滴极易滚落,冻结几率降低。核心在于微纳双尺度结构——微米阵列提供空气垫骨架,纳米粗糙度压缩固 ...
共聚焦显微镜在非球面微透镜表面测量误差校正中的应用
微透镜表面测量中,斜率超过20°后共聚焦显微镜数据出现偏差,引入表面测量误差。边缘像差与光瞳填充不全叠加,ROC偏移和残差升高,影响面积表面形貌精度。非球面微透镜检测同样面对耦合误差,光子湾3D共聚焦显微镜如何 ...
激光共聚焦显微镜在微观磨损形貌三维测量中的核心作用
轴承内圈右侧突然出现一片粘着痕迹。二维显微镜下只看到纹理变乱,高度丢了——材料是被撕走还是被堆上去,现场的人当场就卡壳。设备不能拆,实验室仪器也进不来。光度立体视觉原位重构能在现场快速拿到三维形貌,但 ...
基于CLSM各向异性粗糙度测量的SOI波导损耗评估方法
硅光芯片的传输损耗,材料吸收和波导弯曲常被重点监控,但侧壁粗糙度(SWR)引起的散射损耗同样被重视。几微米脊宽的SOI波导中,侧壁纳米级的起伏就能让导模散射损耗大幅抬高,实测值往往超出设计预估。测量SOI波导侧壁 ...
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